全自動(dòng)晶圓腐蝕機(jī)(多晶硅腐蝕機(jī)浸泡 式腐蝕清洗 電子清洗設(shè)備)
概述:全自動(dòng)晶圓腐蝕機(jī)(多晶硅腐蝕機(jī)浸泡 式腐蝕清洗 電子清洗設(shè)備) 用于晶圓片的清洗;適用于單片6″8″12″晶圓片。可能采用兆聲波清洗(MHz級(jí)超聲)增強(qiáng)效率,尤其擅長清除頑固顆粒和有機(jī)物;高壓噴淋與化
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全自動(dòng)晶圓腐蝕機(jī)(多晶硅腐蝕機(jī)浸泡 式腐蝕清洗 電子清洗設(shè)備)
用于晶圓片的清洗;適用于單片6″8″12″晶圓片。可能采用兆聲波清洗(MHz級(jí)超聲)增強(qiáng)效率,尤其擅長清除頑固顆粒和有機(jī)物;高壓噴淋與化學(xué)濕法腐蝕協(xié)同作用,高效去除污染物且避免硅片損傷。
機(jī)械臂走向右進(jìn)左出’或‘左進(jìn)右出’;制程控制為PLC控制方式;操作界面為全圖形化中文彩色人機(jī)界面(10.4彩屏);槽體數(shù)量根據(jù)制程工藝要求選擇定制;設(shè)備制造北京華林嘉業(yè)科技有限公司(CGB);
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用于晶圓片的清洗;適用于單片6″8″12″晶圓片。可能采用兆聲波清洗(MHz級(jí)超聲)增強(qiáng)效率,尤其擅長清除頑固顆粒和有機(jī)物;高壓噴淋與化學(xué)濕法腐蝕協(xié)同作用,高效去除污染物且避免硅片損傷。
機(jī)械臂走向右進(jìn)左出’或‘左進(jìn)右出’;制程控制為PLC控制方式;操作界面為全圖形化中文彩色人機(jī)界面(10.4彩屏);槽體數(shù)量根據(jù)制程工藝要求選擇定制;設(shè)備制造北京華林嘉業(yè)科技有限公司(CGB);
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