晶圓單片清洗機(jī)
概述：晶圓單片清洗機(jī) 用于晶圓片的清洗；適用于單片6″8″12″晶圓片。在半導(dǎo)體制造流程中，單片晶圓清洗機(jī)是確保芯片良率與性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。機(jī)臺(tái)通過(guò)物理沖擊、化學(xué)腐蝕和表面改性等多維度手段，去除晶圓表面
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晶圓單片清洗機(jī)
用于晶圓片的清洗；適用于單片6″8″12″晶圓片。在半導(dǎo)體制造流程中，單片晶圓清洗機(jī)是確保芯片良率與性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。機(jī)臺(tái)通過(guò)物理沖擊、化學(xué)腐蝕和表面改性等多維度手段，去除晶圓表面的污染物（如光刻膠殘留、氧化物、金屬顆粒、有機(jī)物等），同時(shí)避免損傷敏感結(jié)構(gòu)（如低k介質(zhì)、高k柵極、精細(xì)互連線）。
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用于晶圓片的清洗；適用于單片6″8″12″晶圓片。在半導(dǎo)體制造流程中，單片晶圓清洗機(jī)是確保芯片良率與性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。機(jī)臺(tái)通過(guò)物理沖擊、化學(xué)腐蝕和表面改性等多維度手段，去除晶圓表面的污染物（如光刻膠殘留、氧化物、金屬顆粒、有機(jī)物等），同時(shí)避免損傷敏感結(jié)構(gòu)（如低k介質(zhì)、高k柵極、精細(xì)互連線）。
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