LED無塵車間設計施工
概述:
LED無塵車間生產環境要求:
潔凈室的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應根據生產工藝對生產環境的要求確定。
當出現下列情況之一時,空氣凈化調節系統宜分開設置:
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LED無塵車間生產環境要求:
潔凈室的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應根據生產工藝對生產環境的要求確定。
當出現下列情況之一時,空氣凈化調節系統宜分開設置:
2 溫濕度基數和允許波動范圍差別大的潔凈室;
3 凈化空調系統和一般空調系統;
4 潔凈室內工藝設備發熱、散濕量相差懸殊的潔凈室;
5 系統風量過大的凈化空調系統。
換鞋間應設置不低于10次/h的全室排風系統,排風口宜設置在下部;換鞋柜宜設置局部排風措施;一次更衣間宜設置不低于5次/h的全室排風系統。
凈化空氣調節系統的新風應進行集中處理,新風處理機組的設置應符合下列規定:
1 送風機應采取自動調速措施;
2 空氣宜經過粗效、中效、高效過濾器三級處理;
3 新風處理機組應有良好的氣密性,在工作壓力下的漏風率不得大于1%。
光刻間凈化空氣調節系統的循環風宜采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理,其他潔凈室凈化空氣調節系統的循環風宜采用循環空氣處理機組處理。
金屬有機化合物化學氣相沉積間的凈化空氣調節系統應獨立設置。
循環空氣處理機組宜采用干冷卻方式處理空氣。
循環空氣處理機組的風機應采取自動調速措施。
空調加熱、加濕系統的設計應利于工廠余熱的利用。
凈化空氣調節系統的新風吸入口位置,應遠離排放有害物或可燃物的排氣口。
上技術夾層凈高應按照空調設備、管線布置、潔凈氣流控制等因素確定,不宜低于2m。
發光二極管生產宜包括外延片生長、管芯(芯片)制造、管芯(芯片)封裝三部分。
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