KINNEY凱尼KC和KTC型雙級滑閥真空泵
概述:產(chǎn)品描述 KC和KTC型滑閥泵是機(jī)械式真空泵中可獲得最低壓力的泵,推薦應(yīng)用于工作壓力低于0.1Torr0.13mbar的工況。
【產(chǎn)品描述】
KC和KTC型滑閥泵是機(jī)械式真空泵中可獲得最低壓力的泵,推薦應(yīng)用于工作壓力低于0.1Torr(0.13mbar)的工況。
由于滑閥與泵腔之間充滿了油而且沒有金屬與金屬間的接觸,該系列雙級泵特別的可靠和經(jīng)久耐用。除了KTC-112泵是水冷系統(tǒng)(風(fēng)冷系統(tǒng)供選擇),其它型號的KC和KTC泵都是風(fēng)冷系統(tǒng)。
標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品都配置可調(diào)式氣鎮(zhèn)閥,可以處理含水蒸氣或其他蒸氣的介質(zhì)。
KTC泵三聯(lián)滑閥設(shè)計(jì)確保泵自身動(dòng)態(tài)平衡,事實(shí)也證明該泵在運(yùn)行中沒有振動(dòng)。
【典型應(yīng)用】
1. 制冷系統(tǒng)排氣
2. 液態(tài)氣體儲(chǔ)存
3. 制動(dòng)液加液系統(tǒng)
4. 低壓化學(xué)蒸氣沉積(LPCVD)
5. 硅晶生長
6. 泄露檢測
【技術(shù)參數(shù)】
型號
MODEL 抽速
CFM/m3/h 電機(jī)功率
HP/kW
KC-5 5/8.5 0.33/0.25
KC-8 8/13.6 0.5/0.37
KC-15 15/25.5 1/0.75
KTC-21 21/36 1.5/1.1
KTC-60 60/102 3/2.2
KTC-112 107/182 7.5/5.6
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