二手南光1100MM真空電鍍膜機配置：工件盤 公自轉，晶控
概述：配置：工件盤 公自轉，晶控 310，單槍 電子槍 ，雙阻蒸，考夫曼離子源，鍍膜室內采用燈管加熱
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工廠轉讓2臺南光1100 9成新鍍膜機 包安裝調試服務（銷售技術楊經理：18103045976）
型 式：1100DBI
產品參數(shù)：
真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架 Ф1130mm
工件架轉速 10rpm to 50rpm(可變)
光學膜厚控制 350nm to 1100nm 反射式/透射式
排氣系統(tǒng) 機械泵2個擴散泵Polycold（或2個冷凝泵）
性 能
達到壓力 7.0×10-5Pa以下
排氣時間 15分（大氣壓～1.3×10-3Pa）
基板溫度 最高：350℃
工作條件
設備尺寸 約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
電源 3相,200v,50/60Hz, 約104KVA
水流量 140升/分以上
空氣壓力 0.5MPa以上
重量 約9000kg
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